高分辨:
放大倍率15萬倍
5nm分辨率
1kV~30kV加速電壓選擇 ,圖像分辨率高
使用方便:
Tilt( 0~90 )載物臺配置(可選擇)
通過選配EDS可進行元素成份分析
掃描電鏡,體型小巧, 占用空間小
產(chǎn)品特性:
自動平臺采用中心定位模式,迅速定位待測樣品
采用二次電子和背散電子雙重探測器
掃描電鏡能譜一體機:
原廠集成能譜儀
高真空設計,可調(diào)式電壓,為不同樣品提供更合適的檢測環(huán)境
E-150系列掃描電鏡技術參數(shù)
分辨率
5nm (30kV,SE)
放大倍率
20x~150,000x
加速電壓
~30kV
探測器
SE探測器 ,可選配BSE探測器 ,EDS等
電子槍
預對中鎢燈絲
透鏡系統(tǒng)
聚光鏡 :2段式磁線圈透鏡
物鏡 :1段式磁線圈物鏡
載物臺
3軸(X,Y, R,)X,Y軸40mm/R軸 :360 °
可選5軸樣品臺 :X:40mm,Y:40mm,Z:40mm,R:360°,T:0 ~90 °
圖像偏移
X,Y軸圖像偏移(±150μm)
光闌
可調(diào)節(jié)光闌(30/50/50/100μm)
樣品尺寸
高度35mm時直徑80mm
圖像掃描
快速掃描 :320*240 低速掃描 :640*480
圖片模式1:1280*960 圖片模式2:2560*1920 圖片模式3:5120*3840
自動功能
自動啟動、 自動亮度對比度調(diào)節(jié)、 自動初始化
圖像存儲格式
BMP,JPEG,PNG,TIFF
圖片顯示數(shù)據(jù)
放大倍率、探測器類型、加速電壓、真空模式、比例尺、LOGO、 日期和時間
真空方式
高真空模式 ,機械泵 ,分子泵 ,抽真空時間 :3分鐘以內(nèi)
設備尺寸
460(W)*600(L)*950(H)mm
運行環(huán)境
溫度 :15~30℃,濕度 :≤70%電源 :單相220AC1KW 50/60Hz
樣品效果:
![]()
氧化鋁陶瓷粉顆粒
![]()
LED合金線
LED弧線不良
型號 | E-150系列 | ||
E-150S-MS | E-150D-MS | E-150D-ST | |
電子系統(tǒng) | |||
分辨率 | 5nm (30kV) | ||
放大倍率 | 30x~150,000x | ||
加速電壓 | 1~30kv(6檔可選) | ||
探測器 | SE 探測器 | SE/BSE 探測器 | SE/BSE 探測器 |
圖像檢測 | 二次電子圖像 | 多探測器電子圖像 | 多探測器電子圖像 |
電子槍校正 | 手動校正 | ||
偏壓系統(tǒng) | 自動偏壓系統(tǒng) | ||
燈絲類型 | 預對中鎢燈絲 | ||
鏡頭系統(tǒng) | 聚光鏡:2段式磁線圈透鏡 | ||
樣品臺 | |||
載物臺控制方式 | 3軸手動 | 5軸自動 | |
載物臺移動范圍 | 3軸手動(X,Y,R,)X,Y軸 40mm / R軸 : 360° | 5軸自動(X,Y,R,T,Z)X,Y軸 40mm / R軸 : 360°, | |
圖像偏移 | X,Y軸圖像偏移(±150μm) | ||
光闌 | 可調(diào)節(jié)光闌(30/50/50/100μm) | ||
樣品尺寸 | 高度35mm時直徑80mm | ||
圖像處理 | |||
圖像掃描 | 快速掃描:320*240 低速掃描:640*480 | ||
自動功能 | 自動啟動、自動亮度對比度調(diào)節(jié)、自動初始化 | ||
圖像存儲格式 | BMP, JPEG, PNG, TIFF | ||
圖片顯示數(shù)據(jù) | 放大倍率、探測器類型、加速電壓、真空模式、比例尺、LOGO、日期和時間 | ||
真空系統(tǒng) | |||
真空方式 | 全自動型、高真空模式(旋轉式機械泵)100L/min,(渦輪式分子泵)70L/S. 抽真空時間:3分鐘 | ||
操控系統(tǒng) | |||
電腦系統(tǒng) | 微軟操作系統(tǒng) Windows® 10 / 11 | ||
連接方式 | USB接口 | ||
SENSE應用軟件 | |||
應用軟件 | 圖像文件打開,編輯,存儲功能長度,面積,角度等測量功能,設置數(shù)初始化,圖像拍攝模式轉換,Archives, Setting(EDS)模式等 | ||
儀器體積和重量 | |||
設備尺寸 | 460*600*950mm | ||
真空泵 | 400*160*340mm | ||
重量 | 130kg | ||
設備環(huán)境 | |||
運行環(huán)境 | 溫度:15~30℃,濕度:≤70% 電源:單相220AC 1KW 50/60Hz |