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電子探針顯微分析儀

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電子探針顯微分析儀EPMA-8050G電子探針顯微分析原理及其發(fā)展的初期是建立在X射線光譜分析和電子顯微鏡這兩種技術(shù)基礎(chǔ)上的，該儀器實(shí)質(zhì)上就是這兩種儀器的科學(xué)組合

詳細(xì)介紹

電子探針顯微分析儀


電子探針顯微分析儀EPMA-8050G

電子探針顯微分析原理及其發(fā)展的初期是建立在X射線光譜分析和電子顯微鏡這兩種技術(shù)基礎(chǔ)上的，該儀器實(shí)質(zhì)上就是這兩種儀器的科學(xué)組合。電子探針是運(yùn)用電子所形成的探測(cè)針（細(xì)電子束）作為X射線的激發(fā)源來(lái)進(jìn)行顯微X射線光譜分析的儀器。分析對(duì)象是固體物質(zhì)表面細(xì)小顆?；蛭⑿^(qū)域，范圍直徑為1μm。電子探針可測(cè)量的化學(xué)成分的元素范圍一般從原子序數(shù)12（Mg）至92（U），原子序數(shù)大于22的元素可在空氣通路的X射線光譜儀上進(jìn)行測(cè)量。電子探針的靈敏度低于X射線熒光光譜儀，原因是電子探針X射線的本底值高于后者，但電子探針的感量比其他儀器都高。此外，后期生產(chǎn)的儀器，可作X射線背散射照相、透視照相。能兼作透射電鏡、能進(jìn)行電子衍射、能作電子熒光觀察等。

從SEN哩病條件到1aA是后。在各種束流睪作下都擁有卓雌空問(wèn)分臆豐的實(shí)題哂發(fā)射電子光學(xué)系接。

主要應(yīng)用領(lǐng)域:地質(zhì)礦產(chǎn)、鋼鐵有色-催化到、半導(dǎo)體、生物材料。


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