薄膜厚度測(cè)量?jī)xST5000
儀器簡(jiǎn)介：
·標(biāo)準(zhǔn)模式
·工業(yè)規(guī)格
·自動(dòng)機(jī)械X-Y活動(dòng)
·自動(dòng)調(diào)焦
·防震臺(tái)
技術(shù)參數(shù)：
類(lèi)型 ：自動(dòng)的
測(cè)量方法： 非接觸
測(cè)量原理 ：反射計(jì)
活動(dòng)范圍： ~300mm x 300mm
測(cè)量范圍： 100?~ 35?(Depends on Film Type)
光斑尺寸： 40?/20?,4?(option)
測(cè)量速度 ：1~2 sec./site(fitting time)
應(yīng)用領(lǐng)域 ：半導(dǎo)體: Poly-Si, GaAs, GaN, InP, ZnS + Si, Ge, SiGe...
電解質(zhì): SiO2, TiO2, TaO5, ITO, ZrO2, Si3N4, Photoresist, ARC,...
平板行業(yè)：(包括 LCD, PDP, OLED, ): a-Si, n+-a-Si, Gate-SiNx MgO, Alq, ITO, PR, CuPc, NPB, PVK, PAF, PEDT-PSS, Oxide, Polyimide...
光學(xué)涂層：: 減反射膜, Color Filters...
太陽(yáng)能電池 Doping a-Si(i-type, n-type, p-type), TCO(ZnO, SnO, ITO..)
聚合物: PVA, PET, PP, Dye, Npp, MNA, TAC, PR...
Recordable materials: Photosensitive drum, Video head, Photo masks, Optical disk
可選： Transmittance Module
Reference Sample(K-MAC or KRISS or NIST)
接物鏡旋轉(zhuǎn)器： Quintuple Revolving Nosepiecs
焦點(diǎn) ：Coaxial Coarse and Fine Focus Controls
附帶照明 ：12v 100W Halogen Lamp
主要特點(diǎn)：
測(cè)量迅速，操作簡(jiǎn)單
非接觸式，非破壞方式
優(yōu)良的重復(fù)性和再現(xiàn)性
2D/3D 映射和造型
自動(dòng)機(jī)械活動(dòng)控制
電荷耦合器件照相機(jī)
自動(dòng)調(diào)焦
防震臺(tái)
SY5520-3LZE-C4 ET201F SY5420-6LZE-C8 SY5420-6LZE-C6 ET3 SY5420-6LZE-C4 SY5420-5LZE-C8 ET2 SY5420-5LZE-C6 SY5420-5LZE-C4 SY5420-3LZE-C8 SY5420-3LZE-C6 SY5420-3LZE-C4 ET1 SY5320-6LZE-C8 SY5320-6LZE-C6 SY5320-6LZE-C4 SY5320-5LZE-C8 SY5320-5LZE-C6 SY5320-5LZE-C4 SY5320-4LZE-C8 SY5320-4LZE-C6 SY5320-4LZE-C4 SY5320-3LZE-C8 SY5320-3LZE-C6 SY5320-3LZE-C4 SY5220-6LZE-C6 SY5220--6LZE-C4 SY5220-5LZE-C8 SY5220-5LZE-C6 SY5220-5LZE-C4 SY5220-6LZE-C8 SY5220-4LZE-C6 SY5220-4LZE-C4 SY5220-3LZE-C8 SY5220-3LZE-C6 SY5220-3LZE-C4
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